Low-cost fabrication of polymer based micro-optical devices for application in illumination, sensing, and optical interconnects

verfasst von

Muhammad Shaukat Khan, Maik Rahlves, Roland Lachmayer, Bernhard Roth

Abstract

Fabrication of desired micro structures in polymers is always of keen interest for applications in illumination optics, sensors and optical interconnects. The challenge is to fabricate structures in the sub-micron range but at low cost. Among other fabrication methods as described in [1], maskless lithography tends to be cost effective and can create sub-micron structures.

Organisationseinheit(en)

Hannoversches Zentrum für Optische Technologien (HOT)
Institut für Produktentwicklung und Gerätebau
PhoenixD: Simulation, Fabrikation und Anwendung optischer Systeme

Typ

Abstract in Konferenzband

Anzahl der Seiten

1

Publikationsdatum

2019

Publikationsstatus

Veröffentlicht

Peer-reviewed

Ja

ASJC Scopus Sachgebiete

Elektronische, optische und magnetische Materialien, Werkstoffmechanik

Elektronische Version(en)

https://opg.optica.org/abstract.cfm?uri=cleo_europe-2019-ce_10_6 (Zugang: Geschlossen)