Optical and Plasmonic Devices Realized by UV-LED-Based Projection Photolithography

verfasst von

Lei Zheng, Carsten Reinhardt, Bernhard Roth

Abstract

A simple and cost-effective UV-LED-based microscope projection lithography technique for the manufacturing of optical and plasmonic devices as well as their functionalities is demonstrated.

Organisationseinheit(en)

PhoenixD: Simulation, Fabrikation und Anwendung optischer Systeme
Hannoversches Zentrum für Optische Technologien (HOT)

Externe Organisation(en)

Hochschule Bremen

Typ

Aufsatz in Konferenzband

Publikationsdatum

2023

Publikationsstatus

Veröffentlicht

Peer-reviewed

Ja

ASJC Scopus Sachgebiete

Computernetzwerke und -kommunikation, Elektrotechnik und Elektronik, Atom- und Molekularphysik sowie Optik

Elektronische Version(en)

https://doi.org/10.1109/OECC56963.2023.10209806 (Zugang: Geschlossen)