Prof. Dr.-Ing. Marc Wurz

Die Mikroproduktionstechnik erlaubt es skalenübergreifend von dem Nano- bis in den Millimeterbereich optische Systeme zu fertigen. Sie gilt als Enabling Technology in diesem zukunftweisenden Feld. Daher hat sich das IMPT zur Aufgabe gemacht Technologien für optische Anwendungen zu beforschen und zu beherrschen, um diese dem Exzellenzcluster zugänglich zu machen. Das Technologiespektrum umfasst dabei die hierfür erforderlichen Schritte: Lithografie–, Beschichtungs- und Ätztechnik. Hierdurch ermöglicht das IMPT die Designs der Partner im Exzellenzcluster in reale Bauteile umzusetzen. In einem ersten Ansatz wurde eine Integrationsplattform entwickelt, welche die Basis für den Schritt in Richtung photonisch integrierter Chips zeigt.

Im aktuellen Fokus der Arbeiten in PhoenixD stehen die Entwicklung einer reproduzierbaren Diamant-Technologie für die Mitglieder des Exzellenzclusters. Hierzu gehören zum einen die Abscheidung von mono- und polykristallinem Diamanten auf Wafer-Level kombiniert mit der erforderlichen mechanischen Bearbeitung und der lithografischen Strukturierung. Auf dieser Basis lassen sich vielfältige optische Anwendungen im Bereich von diamantbasierten Wellenleiter und Linsen realisieren. Daneben erlaubt die neu installierte Strukturierungsmöglichkeit von Glas dem IMPT die bisherige optische Plattform auf dieses Substrat zu übertragen. Zukünftig steht am IMPT eine Elektronenstrahl-Lithografie zur Verfügung, welche die notwendige Auflösung erlaubt optische Komponenten mit hoher Präzision zu fertigen.