Rapid micro- and nanostructuring by UV-LED-based microscope projection lithography

verfasst von

Lei Zheng, Carsten Reinhardt, Bernhard Roth

Abstract

A low-cost and simple UV-LED-based projection lithography approach enabling micro- and nanostructuring in seconds and with subwavelength resolution is demonstrated in this work.

Organisationseinheit(en)

PhoenixD: Simulation, Fabrikation und Anwendung optischer Systeme
Hannoversches Zentrum für Optische Technologien (HOT)

Externe Organisation(en)

Hochschule Bremen

Typ

Paper

Publikationsdatum

04.06.2023

Publikationsstatus

Veröffentlicht

Peer-reviewed

Ja

ASJC Scopus Sachgebiete

Atom- und Molekularphysik sowie Optik, Astronomie und Planetologie, Steuerungs- und Systemtechnik, Elektrotechnik und Elektronik, Instrumentierung, Allgemeine Computerwissenschaft, Elektronische, optische und magnetische Materialien