Automated Resin Layer Detection for Laser Direct Writing

verfasst von

Reinhard Caspary, Lei Zheng, Axel Günther, Bernhard Roth

Abstract

Placing the focus of a laser direct writing system inside a photosensitive layer is a time-consuming manual step. We present an automated layer detection algorithm with reproducible sub-µm resolution, allowing for real-time tilt correction.

Organisationseinheit(en)

PhoenixD: Simulation, Fabrikation und Anwendung optischer Systeme
Hannoversches Zentrum für Optische Technologien (HOT)

Externe Organisation(en)

Technische Universität Braunschweig

Typ

Paper

Publikationsdatum

04.06.2023

Publikationsstatus

Veröffentlicht

Peer-reviewed

Ja

ASJC Scopus Sachgebiete

Atom- und Molekularphysik sowie Optik, Astronomie und Planetologie, Steuerungs- und Systemtechnik, Elektrotechnik und Elektronik, Instrumentierung, Allgemeine Computerwissenschaft, Elektronische, optische und magnetische Materialien